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均益科技有限公司

 

均益科技有限公司成立於2010年，主要業務為代理及銷售應用於半導體產業的光學量測儀器，產品包含

 

 * ZYGO 精密定位用鐳射頭：應用於黃光的NIKON或CANON曝光機的Stage定位。
 * K-Patents 化學液濃度計(接觸式)：應用於CMP Slurry雙氧水濃度監測及WET 化學液濃度監測。
 * FLEXIM 化學液濃度計(非接觸式)：應用於WET 化學液濃度監測。

 



PR-33-S
PR-23-MS
















半導體製造過程中的芯片質量通常被定義為目標周圍可變性的減少，或者換句話說，分佈設置在指定下限和上限之間的程度。對質量至關重要 (CTQ)
和符合客戶要求也起著重要作用。製造中過高的可變性很快會導致產品質量問題。為確保向市場穩定供應優質產品，需要全面的質量指標和過程控制。產品質量和製造的一個重要部分是化學。半導體晶圓廠在整個晶圓廠流程中消耗大量化學品。每個工藝的可重複性和再現性是晶圓廠最關心的問題，即使是最輕微的規格偏差也可能導致昂貴的設備污染和晶圓報廢。








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曝光機、定位鐳射、ZYGO、Laser Head、ZMI 7712、ZMI 7714、ZMI
7724、Nikon、Canon、Lithography、Stepper、Scanner雙氧水濃度計、雙氧水濃度監測、化學液濃度計、化學液濃度監測、VAISALA、K-Patents、FLEXIM、Concentration
measurement 、CMP、Slurry、H2O2、Hydrogen Peroxide 、IPA、Isopropyl alcohol、Post CMP
Cleaner、Wet chemical、Post Etch residue removal

聯絡資訊

 * 電話 : 03-6583583
 * 傳真 : 03-6583623
 * 住址 : 新竹縣竹北市光明六路東一段249號4F
 * 信箱 :  dou@gematerials.com.tw

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