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100%
PEACE OF MIND

We care for your systems. We are a leading manufacturer of vacuum and
semiconductor solutions used in the production of wafers, liquid crystals, solar
cells and other products requiring advanced technology. With EBARA your
processes run smoothly and efficient.


ENGAGEMENT. PROXIMITY. EXPERTISE.

EBARA Precision Machinery Europe (EPME) is part of the EBARA Group,
headquartered and established in Germany since 1994. We distribute vacuum and
turbomolecular pumps, gas abatement systems and semiconductor manufacturing
equipment e.g. CMP tools and bevel polisher.

> 200 EMPLOYEES IN EUROPE & ISRAEL

Our corporate culture is shaped by
our Japanese roots. In Europe we have colleagues from 19 nations.

ON-SITE IN EUROPE

EPME is located and presented in eight countries in Europe, Israel and
Switzerland.



SUPPORTING OUR GLOBE

We espouse a responsible approach and social responsibility.



More about EPME


INDUSTRIES

EPME offers the best-in-class solutions for industries with the highest
requirements. Focus on your core business – we will take care of the processes
for vacuum, gas abatement and semiconductor manufacturing.


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CHEMICAL INDUSTRY


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LED MANUFACTURING


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COMPONENTS

The EBARA components portfolio includes dry and turbo molecular vacuum pumps as
well as gas abatement systems. Customers value the quality, stability and low
cost of ownership.

DRY VACUUM PUMPS

Solutions for various vacuum applications needed in different industries. With
over 100 years of experience in pump technology.

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TURBO MOLECULAR PUMPS

Pumps with mechanical bearing and magnetically levitated rotors. Suitable for
varied applications such as ultra-high vacuum.

More information



GAS ABATEMENT SOLUTIONS

The G and the TND series are highly efficient universal abatement solutions. We
care about a clean environment.

More information



INTEGRATED SOLUTIONS

Benefits may include reduced costs for parts, efficient pump installation and
simplified maintenance.

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ENGINEERING

Our Applications Team develops adaptions and creates the best suited solution
for vacuum pumps and abatement systems.

More information



All Components


HOW CAN WE HELP YOU? WE LOVE TO FIND SOLUTIONS.

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OVERHAUL

Pumps and accessories rework

Our fully equipped Service Centres located in Livingston, Scotland and in
Dresden, Germany employ highly skilled vacuum engineers to maintain and
refurbish our EBARA vacuum pumps. We also service 3rd party brands for example
dry pumps, turbo pumps, scroll pumps, wet pumps and other associated products.

Overhaul Service



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SYSTEMS

EBARA is a world market leader in CMP, electroplating and bevel polishing
systems. Customers value the quality, stability and low cost of ownership.

CMP TOOLS

With our CMP tools we stand for high flexibility and productivity for 200mm and
300mm wafers. We are proud of a growing base of best-in-class performance of our
F-REX200M2 and F-REX300X.

More information

SUBSTRATE PLATING

Our electroplating tool, the UFP Ultra Fine Plating series, can be used for all
thorough mask plating processes, as for redistribution and bumping in the wafer
level packaging processes.

More information



WAFER BEVEL POLISHING

To remove damages to the wafer edge as the main source for wafer yield loss, we
offer a tool that not only cleans but also reshapes the bevel to a specific
profile by using a mechanical slurry-free process.

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Let’s talk!

We are looking forward meeting you at several conferences, shows and networking
events.

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The driving force

Our brand statement reflects our entrepreneurial spirit, which is never
satisfied with the status quo. Ahead stands for our leadership – always one step
ahead of the competition. Beyond expresses our promise to exceed expectations of
our stakeholders. That is our motivation day-by-day.

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TECHNOLOGY. PASSION. SUPPORT OUR GLOBE.

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